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反应烧结碳化硅陶瓷悬臂桨
产品标签 | 反应烧结碳化硅陶瓷悬臂桨 反应烧结碳化硅悬臂浆 碳化硅陶瓷悬臂浆 陶瓷悬臂浆
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产品概要: 悬臂桨,是半导体晶圆装载系统的关键部件。KCE?系列反应烧结碳化硅陶瓷悬臂桨性能稳定,在高温环境不变形,晶圆装载量大,适用于机器人自动装载和搬运系统,且其截面稳定不变形,使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。加之与LPCVD涂层的热膨胀系数相近,应用于LPCVD,可***延长维护清洗周期,并大幅减少污染物。
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